“以钼代钨”或重塑半导体设备链工艺！科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）或迎价值重估机遇

　　受益于美伊和平协议框架进入执行窗口期，市场风险偏好条件持续改善，或一定程度上解除了压制半导体等高贝塔资产的流动性压力。其中在下游大客户积极的资本开支及扩产计划的同步支撑下，半导体设备产业链成为市场关注的重要方向。

　　Wind数据显示，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）已连续两个交易日呈现放量净流入的态势，6月17日-18日分别录得5.44亿元和5.56亿元的单日成交额，同时合计吸引2.33亿元资金净流入，相较于今年前5个月2.62亿元的日均水平活跃度显著走高。

　　除宏观环境的边际改善和下游产品涨价及扩产计划的支撑，产业工艺的升级成为驱动半导体材料设备板块发展的另一重要新增动能。据悉，韩国存储龙头SK海力士在375层产品中开始以钼部分替代传统钨（W）字线材料，以降低电阻、提升器件性能并适应400层以上超高堆叠结构需求。

　　爱建证券指出，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。NAND工艺迭代核心或从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。

　　据悉，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）及其联接基金（A类024974/C类024975）卡位AI硬件浪潮和国产替代的关键交汇点，其标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数中“半导体设备+半导体材料”行业权重占比达84.5%，指数权重向产业链中技术壁垒高、集中度强的核心环节倾斜，有望受益于国内存储涨价、晶圆厂扩产和技术升级。

　　科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）及其联接基金（A类024974/C类024975）的管理人华泰柏瑞基金是国内首批ETF管理人，在指数投资领域深耕超19年，为投资者打造了沪深300ETF华泰柏瑞（510300）、A500ETF华泰柏瑞（563360）等投向透明、交易便捷、费率低廉的指数工具。截至2026年3月末，公司旗下ETF近两年累计为持有人盈利超2234亿元，是同期A股全市场仅有的三家累计盈利超两千亿的公募基金公司之一。